AZBIL日本山武PBC-201VNO,PBC-201VN0

AZBIL日本山武PBC-201VNO,PBC-201VN0

azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器
概要PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。

• FDN算法
  高精度的边缘检测*1
   
• 针对检测面污垢会影响检测精度的课题，配置了线性图像传感器和光量衰减报警功能。
   
• 透明物体检测用算法
  可稳定检测透明物体。
   
• 标准双通道输入控制器
  可进行双检测值运算，减少布线工作量，节省空间。
   
• RS-485通信(仅对应PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可将数据传输至PLC及触摸界面。
   
• 安 全性能
  JIS 1级光束。不需要任何特别保护措施。
   
• 多功能
  可忽略薄膜不规则部分的干扰消除功能*2
  玻璃基板对准时倾斜度θ计算功能*3
  通过位置变化检测功能可检测出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
   

*1. 重复精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. 仅 限于 PBC-201VN0/2
*3. 仅 限于 PBC-203VN2

测定内容

控制器型号	边缘位置测定 (透明体或不透明体)	遮光宽度测定	间隙测定
7 mm传感器头用PBC-201VN0	○	―	―
7 mm传感器头用PBC-201VN2	○	○	○
30 mm传感器头用PPBC-203VN2	○	―	―

重复精度 ±1 μm* — 准确检测出真实的边缘位置

FDN算法是一种对于任意的工作距离(WD)都能准确地计算出真实的边缘位置的算法。

*PBZ-CL007V的重复精度为±1 μm，PBZ-CL030H/V的重复精度为±5 μ。检测条件请参照规格。

• 菲涅尔衍射
  光射在刀片或薄膜等薄型物体边缘处会发生衍射。受光部衍射光的强度分布取决于受光器与薄型物体之间的距离(WD)。

不受检测面污垢引起的受光光量衰减的影响

受光单元采用线性图像传感方式，不受检测面污垢的影响，实现高精度的检测。并且，
配置了“光强度衰减报警功能”，到了维修时期便会发出警报。

• 传统方式(PD)
  因遮光引起受光量的减少，使PD的线性输出发生变化。这种传统的PD方式，由于受光面污垢（或检测物透明度）造成受光光量衰减，使输出值发生变化。所以，为了防止污垢，需要进行空气吹扫。
   
• 本公司的线性图像传感方式
  根据各像素的亮度信息，测出遮光宽度。即使受光光量衰减，只要线性图像传感器的入光量不变，边缘位置的输出值就不会变化。

干扰消除功能

不检测标签等凸起物，只检测薄膜的边缘。
将当前的测定值与设定时间（输出延迟时间）前的数值进行比较，如果变化量超过了设定值（跳读设定值），则保持变化前的数值并将其模拟输出。

θ演算功能

根据玻璃边缘的位置变化，演算倾斜度θ后输出。测量范围：±3°。

缺口检测功能（位置变化输出）

设定位置变化时间(T)和位置变化量(L)，如果变化量超过设定的倾斜度，进行数字(DO)输出。

应用

• 检测晶圆的偏芯和缺口位置
  能够稳定检测透明度高的玻璃晶圆或砷化镓晶圆。并且，由于采用了线性图像传感方式，因此还能越过视孔进行检测。

• 检测薄膜蜷曲
  通过使用2对传感器探头计算传感器探头间的输出值，可同时检测薄膜蜷曲和薄膜宽度。

• 检测薄膜和薄片厚度

• 检测玻璃基板凹凸和裂痕
  利用位置变化检测功能，可检测到传送带上的玻璃基板边缘的缺口和裂痕。

• 测定玻璃基板的XYθ
  利用3对传感器，除了能计算玻璃基板的X和Y值外，还能通过内部演算计算出θ值。

规格

上述规格是检测物体和边缘方向被设定为“不透明体TOP”或“不透明体BOTTOM”时的数据。其他设定时，请与本公司联系。

*1. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±0.5 mm时。
*2. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±3.5 mm的条件下，重复20次的平均值。
*3. 投受光器间距离=100 mm，工作距离=50 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±0.5 mm时。
*4. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±15 mm的条件下，重复20次的平均值。
工作距离(WD): 受光器与检测物之间的距离